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硒化锌生产工艺-PVD与CVD的区别

良希光电 2021-04-20 0

硒化锌材料是一种黄色透明的多晶材料,被广泛用于制作远红外10.6μm/CO2大小功率激光器上各种透镜、反射镜及偏振镜等。常见的硒化锌材料有CVD和PVD两种生产工艺;那么,这两种生产工艺的具体区别是什么呢?

PVD硒化锌是将原材料气化后再在温度稍微低的衬底上沉积的纯度较高的多晶体。在晶体制备过程中,发生了从粉末原料(固相)经高温气化到气相,再经遇低温衬底最后得到多晶体(固相)的纯物理状态的变化。理由物质气化温度的差别,推广控制原材料的气化温度,就能实现纯化材料的目的。

CVD硒化锌通过锌蒸汽和H2Se气体通过化学反应合成,形成所需硒化锌材料。它是一个多晶的结构,小颗粒的CVD硒化锌可以用来控制生长硒化锌的最大产能。

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